Epitaxial growth of high-quality yttria-stabilized zirconia films with uniform thickness on silicon by the combination of PLD and RF sputtering

氧化钇稳定氧化锆 材料科学 基质(水族馆) 外延 立方氧化锆 溅射沉积 表面粗糙度 硅 复合材料 图层(电子) 溅射 脉冲激光沉积 光电子学 薄膜 陶瓷 纳米技术 地质学 海洋学
作者
Pengfei Qu,Peng Jin,Guangdi Zhou,Zhen Wang,Ju Wu,Zhanguo Wang
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:456: 129267-129267 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2023.129267
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
liuke完成签到,获得积分10
刚刚
愤怒的易文完成签到,获得积分10
刚刚
honey完成签到 ,获得积分10
1秒前
科研通AI6.2的应助被鸡毛采纳,获得10
1秒前
molihuakai的应助被万物皆流采纳,获得10
1秒前
无奈筝完成签到,获得积分10
1秒前
是奶柚啊发布了新的文献求助10
1秒前
1秒前
怡然文龙完成签到,获得积分10
1秒前
2秒前
kc发布了新的文献求助10
2秒前
武状元发布了新的文献求助10
2秒前
丘比特的应助被wuge采纳,获得30
2秒前
武状元发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
2秒前
xiaohui发布了新的文献求助10
3秒前
ppprotein完成签到,获得积分10
3秒前
3秒前
叔铭发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
molihuakai的应助被颜卿采纳,获得10
3秒前
4秒前
Jasper的应助被可可萝oxo采纳,获得10
4秒前
AAApril完成签到 ,获得积分10
4秒前
jiehe发布了新的文献求助10
4秒前
4秒前
4秒前
落后又槐完成签到 ,获得积分10
5秒前
老狗砸完成签到 ,获得积分10
5秒前
5秒前
好好完成签到 ,获得积分10
5秒前
5秒前
无极微光的应助被可可采纳,获得20
5秒前
crystal完成签到,获得积分10
5秒前
5秒前
奋斗青发布了新的文献求助10
5秒前
武状元发布了新的文献求助10
5秒前
Jasper的应助被六花采纳,获得10
5秒前
武状元发布了新的文献求助10
6秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Les Mantodea De Guyane 2000
Narrative Disclosure and Earnings Performance: Evidence from R&D Disclosures 1050
Preparation and Properties of Cu-Plated Graphene/Cu Composites 1000
Essays on African writing: A re-evaluation 1000
内視鏡下経鼻経蝶形骨洞手術術後SIADHに対する予防的水制限の安全性と有効性の検討 1000
Problems and Solutions for Integer and Combinatorial Optimization: Building Skills in Discrete Optimization 600
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 计算机科学 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 物理 复合材料 内科学 催化作用 光电子学 人工智能 细胞生物学 无机化学 物理化学 数学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 8004145
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9455840
关于积分的说明 21157754
捐赠科研通 7576977
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3381867
关于科研通互助平台的介绍 2514701
邀请新用户注册赠送积分活动 2416635