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A clean dry transfer of hexagonal boron nitride with improved oxidation resistance

材料科学单层金属氮化硼化学工程六方氮化硼石墨烯硼铜干法蚀刻纳米技术蚀刻（微加工）图层（电子）冶金有机化学化学工程类

作者

Xuemei Li,Zhengyang Li,Luqiao Qi,Yuyang Long,Baowen Li,Jidong Li,Jianxin Zhou,Yan Shi,Jun Yin,Wanlin Guo

出处

期刊：Science China. Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2022-07-21 卷期号：66 (1): 327-334 被引量：9

链接

springer.comdoi.org

标识

DOI：10.1007/s40843-022-2112-y

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