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Remote plasma cleaning of optical surfaces: Cleaning rates of different carbon allotropes as a function of RF powers and distances

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作者
Marc G. Cuxart,Juan Reyes-Herrera,Igors Sicŝ,A. R. Goñi,Harol Moreno Fernández,Vincent Carlino,E. Pellegrin
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2015-11-17 卷期号：362: 448-458 被引量：23
链接
arxiv.org arxiv.org handle.net csic.es arxiv.org arxiv.org datacite.orgdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2015.11.117
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