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Oxygen concentration dependence of as-grown defect formation in nitrogen-doped Czochralski silicon single crystals

硅氮气薄脆饼兴奋剂氧气材料科学分析化学（期刊） Crystal（编程语言）位错杂质结晶学化学纳米技术光电子学复合材料有机化学色谱法计算机科学程序设计语言

作者

Kaoru Kajiwara,Kazuhisa Torigoe,Kazuhiro Harada,Masataka Hourai,Shin–ichi Nishizawa

出处

期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
日期：2021-06-26 卷期号：570: 126236-126236 被引量：14

标识

DOI：10.1016/j.jcrysgro.2021.126236

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