PECVD based silicon oxynitride thin films for nano photonic on chip interconnects applications

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作者
Satinder K. Sharma,Sumit Barthwal,Vikram Singh,Anuj Kumar,Prabhat K. Dwivedi,B. Prasad,Dinesh Kumar
出处
期刊:Micron [Elsevier BV]
卷期号:44: 339-346 被引量:20
标识
DOI:10.1016/j.micron.2012.08.006
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