氮化硅
材料科学
薄膜
等离子体增强化学气相沉积
退火(玻璃)
拉曼光谱
硅
表面粗糙度
化学气相沉积
分析化学(期刊)
化学工程
纳米技术
光电子学
复合材料
光学
氮化硅
化学
有机化学
物理
工程类
作者
Satinder K. Sharma,Sumit Barthwal,Vikram Singh,Anuj Kumar,Prabhat K. Dwivedi,B. Prasad,Dinesh Kumar
出处
期刊:Micron
[Elsevier BV]
日期:2012-09-05
卷期号:44: 339-346
被引量:20
标识
DOI:10.1016/j.micron.2012.08.006
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI