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Optical properties of AlN thin films correlated with sputtering conditions

溅射薄膜材料科学航程（航空）氮化物椭圆偏振法铝吸收（声学）分析化学（期刊）带隙折射率红外线的氮化铝光学光电子学化学图层（电子）复合材料纳米技术物理色谱法

作者

M. Gadenne,J Plon,P. Gadenne

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：1998-11-01 卷期号：333 (1-2): 251-255 被引量：28

标识

DOI：10.1016/s0040-6090(98)00816-5

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