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The defect-related anisotropic strain induced saw-like cracking in the (001) β-Ga2O3 homoepitaxial film
作者
Zishi Wang,
Hezhi Zhang,
Chunlei Tao,
Jing Di,
Wenxiang Mu,
Hongwei Liang
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期：2026-09-11
卷期号：753: 168380-168380
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2026.168380
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