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Routes to the Formation of Air Gap Structures Using PECVD

材料科学 溶解 等离子体增强化学气相沉积 多孔性 空隙（复合材料） 图层（电子） 多孔硅 硅 制作 化学工程 复合材料 光电子学 医学 工程类 病理 替代医学
作者
Raymond N. Vrtis,Dingjun Wu,Mark L. O’Neill,Mary K. Haas,Scott J. Weigel,Eugene J. Karwacki
出处
期刊：MRS Proceedings [Springer Nature]
日期：2006-01-01 卷期号：914
标识
DOI：10.1557/proc-0914-f10-02
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