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Routes to the Formation of Air Gap Structures Using PECVD

材料科学溶解等离子体增强化学气相沉积多孔性空隙（复合材料）图层（电子）多孔硅硅制作化学工程复合材料光电子学医学工程类病理替代医学

作者

Raymond N. Vrtis,Dingjun Wu,Mark L. O’Neill,Mary K. Haas,Scott J. Weigel,Eugene J. Karwacki

出处

期刊：MRS Proceedings [Cambridge University Press]
日期：2006-01-01 卷期号：914

标识

DOI：10.1557/proc-0914-f10-02

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