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Formation of YOF on Y2O3 through surface modification with NH4F and its plasma-resistance behavior
材料科学
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作者
Hwan-Yoon Jang,
Kati Raju,
Hyun-Kwuon Lee
出处
期刊：
Ceramics International
[Elsevier BV]
日期：2024-09-08
卷期号：50 (22): 47513-47518
被引量：12
标识
DOI：10.1016/j.ceramint.2024.09.091
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