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作者
Xiangtai Liu,Shaoqing Wang,Lang He,Yifan Jia,Lu Qin,Haifeng Chen,Fei Ma,Yue Hao
摘要
The review summarizes the precursors, characterization techniques, factors moderating film growth, and the properties such as crystal structure, chemical composition, surface morphology, and optical properties of Ga 2 O 3 films fabricated by ALD.
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