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Structural optimization and growth of intrinsic hydrogenated amorphous silicon films by HWCVD

非晶硅 材料科学 硅 无定形固体 化学 化学工程 纳米技术 光电子学 晶体硅 结晶学 工程类
作者
Hongchen Meng,X. Wu,Fa‐Jun Ma,Qingguo Zeng,Lang Zhou
出处
期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells [Elsevier]
日期：2024-07-01 卷期号：271: 112835-112835
标识
DOI：10.1016/j.solmat.2024.112835
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