Technology for Forming Micro Vias Smaller Than 20 $\mu \mathrm{m}$ with Low Surface Roughness on Build-Up Films Using UV Nanosecond Laser Drilling and Plasma Desmearing

材料科学 表面粗糙度 纳秒 等离子体 表面光洁度 光电子学 激光器 激光打孔 钻探 复合材料 光学 冶金 量子力学 物理
作者
N.S. Park,Tae Young Lee,Kyoung-Min Kim,Sungyong Kim,Sung Yoon Lee,Suk Bum Yoon,Ming You,Geonhee Lee,Sehoon Yoo
标识
DOI:10.1109/ectc51687.2025.00309
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