Toughness Measurement of Microscale Coating/Silicon MEMS System Using Pillar Splitting Method

微电子机械系统 材料科学 支柱 涂层 比例(比率) 光电子学 韧性 复合材料 电子工程 机械工程 工程类 量子力学 物理
作者
Yuanlin Xia,Yuan Liu,Yinfeng Xia,Wenfeng Liu,Cao Xia,Jiaxing Tan,Zhuqing Wang
出处
期刊:IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:73: 1-11 被引量:1
标识
DOI:10.1109/tim.2024.3403192
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
顾矜应助12345678采纳,获得10
1秒前
cdercder应助旅人采纳,获得10
2秒前
唐陌完成签到 ,获得积分10
3秒前
AdamJie应助栗先森采纳,获得10
5秒前
脾中完成签到 ,获得积分10
8秒前
1900完成签到 ,获得积分10
9秒前
大个应助CRUSADER采纳,获得10
20秒前
xdd完成签到 ,获得积分10
20秒前
20秒前
冷酷的大白菜完成签到,获得积分10
23秒前
ikun完成签到 ,获得积分10
23秒前
numagok完成签到,获得积分0
27秒前
30秒前
王了个小婷完成签到 ,获得积分10
32秒前
32秒前
xiaodusb完成签到,获得积分10
36秒前
36秒前
蛋斤发布了新的文献求助10
37秒前
38秒前
微风完成签到 ,获得积分10
39秒前
高挑的初珍完成签到 ,获得积分10
42秒前
细心难摧完成签到 ,获得积分10
43秒前
梦过无痕完成签到,获得积分10
43秒前
旅人完成签到,获得积分10
43秒前
阿湫完成签到 ,获得积分10
45秒前
木光完成签到,获得积分10
46秒前
Wtony完成签到 ,获得积分0
47秒前
47秒前
Joaquin完成签到,获得积分10
49秒前
大胆萤完成签到 ,获得积分10
50秒前
大鸭梨压力大完成签到,获得积分10
52秒前
54秒前
56秒前
852应助bakerwm采纳,获得10
57秒前
蛋斤发布了新的文献求助10
1分钟前
CRUSADER发布了新的文献求助10
1分钟前
firewood完成签到,获得积分10
1分钟前
峰成完成签到 ,获得积分10
1分钟前
小二郎应助hhh020202采纳,获得10
1分钟前
星先生完成签到 ,获得积分10
1分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Autoparametric Resonance in Mechanical Systems 1000
Effects of Two Weeks of Red Light Therapy on Choroidal Thickness and Axial Length in Young Adults 700
Cosmos as Art Object: Studies in Plato's Timaeus and Other Dialogues 600
Management and the Arts 510
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
the fractional Laplacian 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7668007
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9236700
关于积分的说明 19880967
捐赠科研通 7237157
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3284036
关于科研通互助平台的介绍 2442942
邀请新用户注册赠送积分活动 2285554