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作者
Jingjie Zhou,Qingyu Cong,Liming Lv,Zhanshi Yao,Shiyang Zhu,Yuxi Wang,Zhaoyi Li,Zuowen Fan,Zeng Xian-feng,Ting Hu,Lianxi Jia
出处
期刊：
日期：2024-01-01
卷期号：: M3K.2-M3K.2
被引量：1
标识
DOI：10.1364/ofc.2024.m3k.2
摘要
We first report the thin-film lithium niobate (TFLN) electro-optic Mach-Zehnder modulator (MZM) on an 8-inch silicon substrate fabricated in the back-end-of-line (BEOL) of CMOS foundry. It operates at 1550 nm with electro-optical response of only 1.5 dB roll-off at 67 GHz.
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