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Influence of Post-Bonding Annealing Treatment on Interface Characteristics of Si-Si Wafer Bonded via Room Temperature Surface Activation

退火（玻璃）材料科学无定形固体晶片键合薄脆饼透射电子显微镜阳极连接复合材料结晶学纳米技术化学

作者

Ningkang Deng,Yongfeng Qu,Jin Yuan,Yuan Yuan,Wenbo Hu,Shengli Wu,Hongxing Wang

出处

期刊：Journal of Materials Engineering and Performance [Springer Science+Business Media]
日期：2023-11-21 卷期号：33 (24): 14381-14389

标识

DOI：10.1007/s11665-023-08967-2

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