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Structuring of carbon layers in Si–C–O systems studied on atomic scale

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作者
Angelika Hähnel,J. Woltersdorf
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2004-12-30 卷期号：482 (1-2): 19-23 被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2004.11.111
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