Structuring of carbon layers in Si–C–O systems studied on atomic scale

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作者
Angelika Hähnel,J. Woltersdorf
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier]
卷期号:482 (1-2): 19-23 被引量:6
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2004.11.111

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