感应耦合等离子体
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作者
K. Swaminathan,Prakash E. Janardhanan,O.V. Sulima
出处
期刊:Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期:2008-05-26
卷期号:516 (23): 8712-8716
被引量:12
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2008.05.029
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