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200-mm-wafer-scale integration of polycrystalline molybdenum disulfide transistors

二硫化钼 薄脆饼 材料科学 钼 晶体管 晶圆规模集成 微晶 比例（比率） 光电子学 纳米技术 冶金 电气工程 工程类 物理 量子力学 电压
作者
Jung-Min Kwon,Minsu Seol,Jung‐Wan Yoo,Hyun Ryu,Dong-Su Ko,Min‐Hyun Lee,Eun-Kyu Lee,Min Seok Yoo,Gwan Hyoung Lee,Hyu-Soung Shin,Jeehwan Kim,Kyung‐Eun Byun
出处
期刊：Nature electronics [Springer Nature]
日期：2024-04-24
标识
DOI：10.1038/s41928-024-01158-4
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