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Impact of oxygen content on phase constitution and ferroelectric behavior of hafnium oxide thin films deposited by reactive high-power impulse magnetron sputtering

材料科学 高功率脉冲磁控溅射 铪 溅射 脉冲（物理） 溅射沉积 薄膜 氧气 氧化物 铁电性 光电子学 冶金 锆 纳米技术 电介质 有机化学 化学 物理 量子力学
作者
Samantha T. Jaszewski,Eric R. Hoglund,Anna Costine,Marc H. Weber,Shelby S. Fields,Maria Gabriela Sales,Jaykumar Vaidya,Leah Bellcase,Katie Loughlin,Alejandro Salanova,Diane A. Dickie,Steven L. Wolfley,Michael David Henry,Jon‐Paul Maria,Jacob L. Jones,Nikhil Shukla,Stephen McDonnell,Petra Reinke,Patrick E. Hopkins,James M. Howe
出处
期刊：Acta Materialia [Elsevier BV]
日期：2022-08-04 卷期号：239: 118220-118220 被引量：26
链接
sciencedirect.com osti.govdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.actamat.2022.118220
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