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Effect of hydrogen flow rate on the plasma state and quality of diamond crystals grown by MPCVD

材料科学钻石等离子体氢流量（数学）体积流量质量（理念）工程物理机械冶金物理核物理学量子力学

作者

Caoyuan Mu,Genzhuang Li,Xianyi Lv,Shaoheng Cheng,Qiliang Wang,Liuan Li,Guangtian Zou

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2024-09-09 卷期号：185: 108884-108884

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2024.108884

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