材料科学
渗氮
硅
冶金
过程(计算)
化学工程
纳米技术
图层(电子)
计算机科学
操作系统
工程类
作者
Jinguang Yang,Ping Wu,Li Wang,Shiping Zhang
出处
期刊:Silicon
[Springer Science+Business Media]
日期:2025-03-22
卷期号:17 (7): 1571-1582
被引量:2
标识
DOI:10.1007/s12633-025-03295-7
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI