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Advancing semiconductor patterning with EUV hyper NA: opportunities and challenges

极紫外光刻半导体光电子学材料科学纳米技术计算机科学工程物理物理

作者

Gerardo Bottiglieri,P. J. M. Wöltgens,Reinier van der Meer,Sander Blok,Bram Slachter,John McNamara,Mark van de Kerkhof,Jan van Schoot,Michael Patra,Jens Timo Neumann,Heiko Feldmann

标识

DOI：10.1117/12.3050509

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