The Fabrication of High-Anisotropy Silicon Nanowires Based on MACE Method for Photonic Sensor

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作者
A. Mohamedyaseen,P. Suresh Kumar
出处
期刊:Silicon [Springer Science+Business Media]
卷期号:14 (17): 11417-11427 被引量:3
标识
DOI:10.1007/s12633-022-01751-2
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