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Evolution of residual stress reversal in GaN-based Micro-LEDs during laser lift-off via calibrated Raman spectroscopy

材料科学残余应力拉曼光谱氮化镓压力（语言学）光电子学蓝宝石激光器热膨胀基质（水族馆）校准变形（气象学）光致发光复合材料二极管发光二极管光学衍射极限抗拉强度光谱学氮化物宽禁带半导体镓曲率氮化铬压缩（物理）

作者

Xin Liu,Haiying Wei,Chenghao Yang,Yaoen Luo,Hanhao Liang,Zijuan Han

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2026-03-02 卷期号：208: 110560-110560

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2026.110560

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