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Insights into the effects of complexing agents on Co surface during its chemical mechanical polishing process
作者
Yaran Lv,
Yating Huang,
Zhenxiang Huang,
Qinhua Miao,
Guofeng Pan,
Lifei Zhang,
Jie Cheng
出处
期刊:
Surfaces and Interfaces
[Elsevier BV]
日期:2026-02-14
卷期号:86: 108791-108791
标识
DOI:10.1016/j.surfin.2026.108791
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