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作者
Cheng‐Yao Lo,Johanna Hiitola‐Keinänen,Olli‐Heikki Huttunen,Jarno Petäjä,Jukka Hast,Arto Maaninen,Harri Kopola,Hiroyuki Fujita,Hiroshi Toshiyoshi
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
日期：2009-02-08 卷期号：86 (4-6): 979-983 被引量：40
标识
DOI：10.1016/j.mee.2009.02.001
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