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Piezoelectric Coefficient Measurement of AlN Thin Films at the Nanometer Scale using Piezoresponse Force Microscopy

压电响应力显微镜 纳米 材料科学 压电 压电系数 薄膜 比例（比率） 原子力显微镜 纳米压痕 纳米技术 复合材料 光电子学 物理 铁电性 量子力学 电介质
作者
Hyun-Chang Shin,Joon‐Tae Song
出处
期刊：Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
日期：2010-02-11 卷期号：56 (2): 580-585 被引量：17
标识
DOI：10.3938/jkps.56.580
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