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Controlling Speckle Contrast Using Existing Lithographic Scanner Knobs to Explore the Impact on Line Width Roughness

斑点图案 平版印刷术 线条宽度 扫描仪 表面光洁度 表面粗糙度 光学 直线（几何图形） 材料科学 对比度（视觉） 计算机科学 电子工程 工程类 光电子学 物理 数学 复合材料 几何学
作者
H.C. Lee,Hyosung Lee,Dirk van Leuken,Hyungju Rah,Wout Keijers,Seunghui Seon,Yeonji Kim,Ijen van Mil,Yongchan Kim,Byoungdeog Choi
出处
期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2025-01-17 卷期号：38 (1): 29-35 被引量：1
标识
DOI：10.1109/tsm.2025.3530971
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