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Toward practical application of sub-resolution grating for improved process window control in high and hyper NA EUV lithography

极紫外光刻进程窗口平版印刷术栅栏过程（计算）窗口（计算）光学分辨率（逻辑）材料科学计算机科学光电子学物理人工智能操作系统

作者

Inhwan Lee,Joern-Holger Franke,Vicky Philipsen,Kurt Ronse,Stefan De Gendt,Eric Hendrickx

出处

期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology [SPIE - International Society for Optical Engineering]
日期：2025-10-07 卷期号：24 (04)

标识

DOI：10.1117/1.jmm.24.4.043201

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