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Numerical model of carbon chemical vapor deposition at internal surfaces

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作者
Himel Barua,Alex Povitsky
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2020-01-29 卷期号：175: 109234-109234 被引量：12
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2020.109234
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