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All-digital 3-dimensional profilometry of nano-scaled surfaces with spatial light modulators

轮廓仪 计量学 表面计量学 干涉测量 光学 纳米计量学 材料科学 空间光调制器 数字光处理 相（物质） 计算机科学 物理 表面光洁度 量子力学 复合材料 投影机
作者
Valeria Rodríguez-Fajardo,Carmelo Rosales‐Guzmán,Othmane Mouane,Daniel Wamwangi,E. Sideras‐Haddad,Filippus S. Roux,Andrew Forbes
出处
期刊：Applied Physics B [Springer Science+Business Media]
日期：2021-10-04 卷期号：127 (11) 被引量：5
标识
DOI：10.1007/s00340-021-07691-w
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