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作者
Yaohui Ji,
Qiulin Tan,
Xiao Lu,
Guangjin Zhang,
Wendong Zhang,
Jijun Xiong
出处
期刊:
Journal of Micromechanics and Microengineering
[IOP Publishing]
日期:2019-01-11
卷期号:29 (3): 035015-035015
被引量:17
标识
DOI:10.1088/1361-6439/aafde1
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