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Ta addition effects on the structure, mechanical and thermal properties of sputtered Hf-Ta-C film

材料科学固溶体断裂韧性韧性退火（玻璃）碳化物固溶强化溅射最大相位复合材料热稳定性相（物质）溅射沉积氮化物弹性模量薄膜冶金化学工程纳米技术工程类有机化学化学图层（电子）

作者

Xinlei Gu,Lina Yang,MA Xiao-rong,Xuan Dai,Jia Wang,Mao Wen,Kan Zhang

出处

期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2019-05-08 卷期号：45 (12): 15596-15602 被引量：36

标识

DOI：10.1016/j.ceramint.2019.05.069

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