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Modeling and experimental study on material removal rate of quartz wafer by fixed abrasive lapping

研磨磨料薄脆饼石英材料科学复合材料机械工程工程制图工程类光电子学

作者

Yufan Jia,Xianglong ZHU,Lei Yang,Renke Kang,Zhigang Dong

出处

期刊：Guangxue jingmi gongcheng [Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences]
日期：2023-01-01 卷期号：31 (16): 2362-2371 被引量：1

标识

DOI：10.37188/ope.20233116.2362

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