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Intrinsically photosensitive polyimide photoresist and its double crosslinking mechanism
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作者
Peng Yang,
Haiping Yu,
Yuting Zhu,
Xiaonuo Liu,
Pin Liu,
Xuming Wang,
Bo Tang
出处
期刊：
Chemical Communications
[The Royal Society of Chemistry]
日期：2024-12-12
卷期号：61 (6): 1211-1214
被引量：4
链接
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1039/d4cc04749d
摘要
A new photoinitiator-free photosensitive polyimide is synthesized and exhibits good photolithographic properties with a resolution of about 10 μm.
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