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Pathway and Control of Oxygen Transport in the Melt During Single Crystal Silicon Growth by Continuous-Feeding Czochralski Method

硅直拉法晶体生长材料科学氧气单晶结晶学光电子学化学有机化学

作者

Jiancheng Li,Junlei Wang,Zeqi Zhong,Zaoyang Li,Yong Wen,Lei Wang,Lijun Liu

出处

期刊：Social Science Research Network [RELX Group (Netherlands)]
日期：2025-01-01

标识

DOI：10.2139/ssrn.5159308

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