高功率脉冲磁控溅射
材料科学
光电子学
溅射沉积
薄膜
脉冲(物理)
热传导
腔磁控管
溅射
复合材料
纳米技术
物理
量子力学
作者
Chao-Kuang Wen,Adhimoorthy Saravanan,Yin-Hung Chen,Sheng‐Chi Chen,Cheng-Hao Tsai,Rongzhi Chen,Tung‐Han Chuang
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2025.132532
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