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Study on UV-laser fatigue damage of sol-gel antireflective coating using XPS and slow positron beam Doppler broadening spectrum

防反射涂料 X射线光电子能谱 材料科学 涂层 辐照 扫描电子显微镜 激光器 光学 复合材料 光电子学 分析化学（期刊） 化学工程 化学 核物理学 工程类 物理 色谱法
作者
Teng-Hui You,Wei Yang,Tianyu Wang,Hao-Hao Hui,Xiangyang Lei,Qinghua Zhang,Xingzhong Cao,Runsheng Yu,Xin Ju,Xue-Ran Deng
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2023-04-01 卷期号：212: 112065-112065 被引量：10
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2023.112065
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