Highly Doped Single Crystal Al$_{\text{1}-\textit{x}}$Sc$_{\textit{x}}$N Bulk Acoustic Resonators for High-Frequency and Wideband Applications

谐振器 宽带 兴奋剂 物理 Crystal(编程语言) 单晶 凝聚态物理 材料科学 光电子学 光学 计算机科学 核磁共振 程序设计语言
作者
Congquan Zhou,Wentong Dou,Ruidong Qin,Jinghong Lu,Yumeng Yang,Zhiqiang Mu,Wenjie Yu
出处
期刊:IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:71 (10): 6329-6335
标识
DOI:10.1109/ted.2024.3443237
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