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TC f Manipulation in AlScN Nanomechanical Resonators Using Dual-Mode Parametric Excitation

谐振器激发双模参数统计对偶（语法数字）模式（计算机接口）材料科学物理光电子学计算机科学电子工程工程类数学量子力学哲学操作系统统计语言学

作者

Yue Zheng,Seyyed Mojtaba Hassani Gangaraj,Jialin Wang,Mingyo Park,Yifan Fang,Azadeh Ansari

出处

期刊：Journal of microelectromechanical systems [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-07-25 卷期号：33 (5): 620-630 被引量：5

标识

DOI：10.1109/jmems.2024.3425798

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