Stress competition mechanism and ultra-clean process optimization of Marangoni drying for weak-hydrophilic 4H-SiC wafers

马朗戈尼效应 材料科学 马兰戈尼数 表面能 薄脆饼 机械 去湿 传质 压力(语言学) 复合材料 消散 化学物理 粒子(生态学) 表面力 纳米技术 对流 不稳定性 制作 传热 多孔性 冷凝 外延 流变学 基质(水族馆) 缩放比例 热力学 粘附 硅 工作(物理)
作者
M Li,Huiqing Chen,Dapeng Chang,Dongyue Wu,Xuanyi Zhao,Zhenxing Fu,Xuejian Xie,Xiufang Chen,Xianglong Yang,Muqing Zhang,X.G Xu,Xiangang Xu
出处
期刊:Journal of Materials Science & Technology [Elsevier BV]
卷期号:277: 172-181
标识
DOI:10.1016/j.jmst.2026.04.037
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