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Characterization of the Dopant Dependence of Ni-Silicide on a SOI Substrate for a Nano-Scale CMOSFET

掺杂剂 材料科学 基质（水族馆） 绝缘体上的硅 硅化物 纳米尺度 表征（材料科学） 兴奋剂 纳米- 纳米技术 光电子学 硅 复合材料 海洋学 地质学
作者
Soon-Yen Jung,Yong-Jin Kim,Won‐Jae Lee,Yingying Zhang,Zhun Zhong,Shiguang Li,In-Ho Kang,Ga‐Won Lee,Jin-Suk Wang,Hi-Deok Lee,Yeong-Cheol Kim,Jiyoung Kim,Hyuk Hyun Ryu
出处
期刊：Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
日期：2007-06-15 卷期号：50 (6): 1883-1883 被引量：5
标识
DOI：10.3938/jkps.50.1883
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