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Structure of mixed-phase LPCVD silicon films as a function of operating conditions

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作者
B. de Mauduit,Christian Bourgerette,Vincent Paillard,Pascal Puech,Brigitte Caussat
出处
期刊：Journal de physique [EDP Sciences]
日期：1999-09-01 卷期号：09 (PR8): Pr8-1098
标识
DOI：10.1051/jp4:19998136
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