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Millisecond Microwave Annealing: Reaching the 32 Nm Node

作者

Keith Thompson,John H. Booske,R. Lawrence Ives,J. Lohr,Yurii A. Gorelov,K. Kajiwara

出处

期刊：MRS Proceedings [Cambridge University Press]
日期：2004-01-01 卷期号：810

标识

DOI：10.1557/proc-810-c5.3

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