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Optimization of Triangular-Profiled Si-Grating Fabrication Technology for EUV and SXR Applications
极紫外光刻
栅栏
制作
材料科学
光学
光电子学
物理
医学
病理
替代医学
作者
D. V. Mokhov,
T. N. Berezovskaya,
K. Yu. Shubina,
E. V. Pirogov,
А. В. Нащекин,
V. A. Sharov,
Leonid I. Goray
出处
期刊：
Technical Physics
[Pleiades Publishing]
日期：2023-12-01
卷期号：68 (S1): S96-S101
标识
DOI：10.1134/s1063784223090116
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