Pico-nanosecond serial dual-beam laser cleaning of Al2O3 particles on silicon wafer surfaces

薄脆饼 材料科学 光学 纳秒 对偶(语法数字) 梁(结构) 激光束 光电子学 激光器 物理 艺术 文学类
作者
Qi Dai,Lifang Mei,Dongbing Yan,Shuixuan Chen,Zhiheng Zeng,Hongji Tian
出处
期刊:Optics Communications [Elsevier]
卷期号:580: 131602-131602 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.optcom.2025.131602
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