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Numerical study on gas reaction path of InN-MOVPE with three typical reactors

金属有机气相外延 路径（计算） 数值分析 材料科学 化学 数学 计算机科学 纳米技术 外延 数学分析 计算机网络 图层（电子）
作者
Guangyu Zheng,Yukang Sun,Hong Zhang,Peng Su,Ran Zuo,Lijun Liu
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
日期：2024-06-17 卷期号：642: 127798-127798
标识
DOI：10.1016/j.jcrysgro.2024.127798
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