Ripple patterns over oblique Ar+ sputtered SiC/Si(1 1 1) surfaces: Role of preferential sputtering

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作者
Divya Gupta,G.R. Umapathy,Rahul Singhal,Sunil Ojha,Sanjeev Aggarwal
出处
期刊:Materials Letters [Elsevier BV]
卷期号:307: 131011-131011 被引量:7
标识
DOI:10.1016/j.matlet.2021.131011

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