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Study on the effect of He-doped plasma on the preparation of B4C coating as PFM

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作者

Xi Wu,Lin Li,Lin Li,Peng Zhao,Guodong Du,Guoyun Du,Hongling Li

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2025-11-01 卷期号：244: 114866-114866

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2025.114866

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