In-situ crystalline TiNi thin films deposited by HiPIMS at a low substrate temperature

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作者
Xuebing Bai,Qun Cai,Wenhao Xie,Yuqiao Zeng,Chenglin Chu,Xuhai Zhang
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:455: 129196-129196 被引量:9
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2022.129196
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