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In-situ crystalline TiNi thin films deposited by HiPIMS at a low substrate temperature

材料科学结晶高功率脉冲磁控溅射薄膜无定形固体退火（玻璃）基质（水族馆）溅射沉积化学工程冶金复合材料溅射纳米技术结晶学化学工程类海洋学地质学

作者

Xuebing Bai,Qun Cai,Wenhao Xie,Yuqiao Zeng,Chenglin Chu,Xuhai Zhang

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2023-01-03 卷期号：455: 129196-129196 被引量：9

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2022.129196

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